PRÜFSYSTEME

nanome|x 180 + CT

nanome|x 180 + CT – Das high-end Röntgensystem für 2D- und 3D-Analyse (Computertomographie)

Technische Daten

nanome|x 180

Hochauflösendes Röntgensystem für die Inspektion hochwertiger Aufbau- und Verbindungstechnik

Technische Daten

Das Prüfsystem

nanome|x 180 + CT

Technische Daten und Konfiguration

Röntgenröhre: Mikro- / Nanofokus-Transmissionsröhre (offen)

Röhrenspannung: 180 kV
Max. Röhrenleistung: 20 W
Target: Diamantfenster

Röntgendetektor: 2 MPixel Bildverstärker (BV) + Digitaler Detektor GE DXR250RT

temperaturstabilisiert mit aktiver Kühlung
Pixel: 1000 x 1000
Auflösung: 200 x 200 µm
Bilderfassungsrate: bis zu 30 fps im Vollbildmodus

Manipulator: Hochpräzise synchronisierte vibrationsfreie 5-Achsen Manipulation

Max. Durchlichtfläche: 460 mm x 360 mm
Max. Probengröße/-gewicht: 680 mm x 635mm / 10 kg
Schrägdurchstrahlung: stufenlos verstellbarer. Projektionswinkel bis 70°, Drehung 0°-360°
Dreh- und Kippeinheit: Neigung +/- 45°, Drehung n 360°, bis 2 kg
CT-Einheit: Präzisionsdrehachse

Systemvergrößerung:

Geometrische Vergrößerung (DXR Detektor): 1.970-fach
Gesamtvergrößerung (DXR Detektor): max. 2.660-fach

Systemauflösung:

Detailerkennbarkeit bis zu 0,2 µm (im 2D-Betrieb)

3D-Betrieb (CT):

Max. geometrische Vergrößerung: 100-fach
Max. Voxelauflösung: bis zu 2 µm, abhängig von der Probengröße
Volumenaufnahme-/ u. Rekonstruktionssoftware: phoenix datos|x

Softwaremodule:

bga|module für automatische BGA-Lötstellenkontrolle
vc|module zur automatischen Porenauswertung

Das Prüfsystem

Das Prüfsystem

nanome|x 180

Technische Daten und Konfiguration

Röntgenröhre: Mikro- / Nanofokus-Transmissionsröhre (offen)

Röhrenspannung: 180 kV
Max. Röhrenleistung: 15 W
Target: Wolfram

Röntgendetektor:

Digitale Bildkette mit hochauflösendem 4“ dual-field Bildverstärker
2MPixel Digitalkamera und 24“ TFT-Display

Manipulator: Hochpräzise synchronisierte vibrationsfreie 5-Achsen Manipulation

Max. Durchlichtfläche: 460 mm x 360 mm
Max. Probengröße/-gewicht: 680 mm x 635mm / 10 kg
Schrägdurchstrahlung: stufenlos verstellbarer. Projektionswinkel bis 70°, Drehung 0°-360°
Dreh- und Kippeinheit: Neigung +/- 45°, Drehung n 360°, bis 2 kg

Systemvergrößerung:

Geometrische Vergrößerung bis zu 1.630-fach
Gesamtvergrößerung bis zu 17.490-fach

Systemauflösung:

Detailerkennbarkeit bis zu 0,2 µm (200nm)

3D-Betrieb (CT):

CT Vorbereitung für spätere CT-Aufrüstung

Softwaremodule:

bga|module für automatische BGA-Lötstellenkontrolle
vc|module zur automatischen Porenauswertung

Das Prüfsystem

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