Technische Daten und Konfiguration
Röntgenröhre: Mikro- / Nanofokus-Transmissionsröhre (offen)
- Röhrenspannung: 180 kV
- Max. Röhrenleistung: 15 W
- Target: Wolfram
Röntgendetektor:
- Digitale Bildkette mit hochauflösendem 4“ dual-field Bildverstärker
- 2MPixel Digitalkamera und 24“ TFT-Display
Manipulator: Hochpräzise synchronisierte vibrationsfreie 5-Achsen Manipulation
- Max. Durchlichtfläche: 460 mm x 360 mm
- Max. Probengröße/-gewicht: 680 mm x 635mm / 10 kg
- Schrägdurchstrahlung: stufenlos verstellbarer. Projektionswinkel bis 70°, Drehung 0°-360°
- Dreh- und Kippeinheit: Neigung +/- 45°, Drehung n 360°, bis 2 kg
Systemvergrößerung:
- Geometrische Vergrößerung bis zu 1.630-fach
- Gesamtvergrößerung bis zu 17.490-fach
Systemauflösung:
- Detailerkennbarkeit bis zu 0,2 µm (200nm)
3D-Betrieb (CT):
- CT Vorbereitung für spätere CT-Aufrüstung
Softwaremodule
- bga|module für automatische BGA-Lötstellenkontrolle
- vc|module zur automatischen Porenauswertung